SMC Robot ad asse singolo(Guide:In dotazione)

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Max. Thrust Force Range(N)
Max. Thrust Force(N)
Noise Filters
Table Length L1(mm)
Ambiente d'esercizio
Positioning Repeatability(µm)
Maximum Velocity(mm/sec)

    Attuatori Attuatore lineare/elettrico con vite a ricircolo di sfere Motore passo-passo/servomotore serie LEFS

      Attuatore elettrico tipo con cursore specifica trasmissione a cinghia senza motore serie LEFB

        Attuatore elettrico tipo con asta specifica senza motore serie LEY

          Attuatori lineari/elettrici, slitta a basso profilo, guida lineare 1 asse/2 assi, serie LEMH/LEMHT

            Attuatori lineari/elettrici, a basso profilo, tipo base, serie LEMB, motore passo-passo.

              Tavolo scorrevole elettrico ad alta rigidità tipo serie LESH

                Attuatori Attuatore lineare / elettrico Cursore con trasmissione a cinghia serie LEFB Motore passo-passo / servomotore

                  Attuatori Lineari / Elettrici, a basso profilo, a camme, serie LEMC, motore passo-passo.

                    Attuatori lineari/elettrici Tavola di scorrimento miniaturizzata, motore passo-passo serie LEPS

                      Attuatore elettrico tipo con cursore trasmissione a cinghia serie LEFB servomotore AC LECS□

                        Attuatori Attuatore lineare/elettrico, alta rigidità, trasmissione a vite a ricircolo di sfere Serie LEJS, LECS□

                          Attuatori lineari/elettrici con asta di guida e trasmissione a cinghia, serie LEL Motore passo-passo.

                            Motore passo-passo serie LEPY con attuatore elettrico ad asta in miniatura (Servo 24 V DC)

                              Attuatori lineari / elettrici, a stelo con guida, serie LEYG Motore passo-passo / servomotore

                                Attuatore elettrico ad asta guidata tipo LEYG Servomotore AC LECS□

                                  Attuatori Lineari / Elettrici Attuatore, vite a sfera, specifiche pulite, serie 11-LEFS.

                                    Attuatori lineari/elettrici Attuatore, vite a ricircolo di sfere, specifiche pulite, serie 11-LEFS, LECS□

                                      Attuatori lineari/elettrici, alta rigidità, vite a ricircolo di sfere, serie 11-LEJS, LECS□.

                                      • In Offerta

                                      LEFS , Trasmissione a vite a ricircolo di sfere

                                      • In Offerta

                                      Unità di traslazione - LES

                                        Scheda motore serie LAT3

                                          Attuatore elettrico ad alta rigidità tipo con cursore specifica azionamento a vite senza motore Serie LEJS

                                            Attuatore elettrico tipo con asta con specifica senza motore serie LEYG

                                              Servomotore AC serie LEFS azionamento con vite a circolazione di sfere attuatore elettrico tipo a scorrimento LECS□

                                                Servomotore AC serie LEFS azionamento con vite a circolazione di sfere attuatore elettrico tipo a scorrimento LECY□

                                                  Attuatore elettrico tipo con cursore trasmissione a cinghia serie LEFB servomotore AC LECY□

                                                    Attuatori Attuatore lineare/elettrico, alta rigidità, azionamento a vite a ricircolo di sfere, serie LEJS, LECY□

                                                      Servomotore AC serie LEJS azionamento con vite a circolazione di sfere attuatore elettrico a elevata rigidità tipo a scorrimento LECS□

                                                        Servomotore AC serie LEJS azionamento con vite a circolazione di sfere attuatore elettrico a elevata rigidità tipo a scorrimento LECY□

                                                          Attuatore elettrico tipo asta con guida Servomotore AC serie LEYG LECY□

                                                          Marchio

                                                          SMC

                                                          SMC

                                                          SMC

                                                          SMC

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                                                          SMC

                                                          SMC

                                                          SMC

                                                          SMC

                                                          SMC

                                                          SMC

                                                          SMC

                                                          SMC

                                                          SMC

                                                          SMC

                                                          SMC

                                                          SMC

                                                          SMC

                                                          SMC

                                                          SMC

                                                          SMC

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                                                          SMC

                                                          SMC

                                                          Serie prodotto

                                                          Attuatori Attuatore lineare/elettrico con vite a ricircolo di sfere Motore passo-passo/servomotore serie LEFS

                                                          Attuatore elettrico tipo con cursore specifica trasmissione a cinghia senza motore serie LEFB

                                                          Attuatore elettrico tipo con asta specifica senza motore serie LEY

                                                          Attuatori lineari/elettrici, slitta a basso profilo, guida lineare 1 asse/2 assi, serie LEMH/LEMHT

                                                          Attuatori lineari/elettrici, a basso profilo, tipo base, serie LEMB, motore passo-passo.

                                                          Tavolo scorrevole elettrico ad alta rigidità tipo serie LESH

                                                          Attuatori Attuatore lineare / elettrico Cursore con trasmissione a cinghia serie LEFB Motore passo-passo / servomotore

                                                          Attuatori Lineari / Elettrici, a basso profilo, a camme, serie LEMC, motore passo-passo.

                                                          Attuatori lineari/elettrici Tavola di scorrimento miniaturizzata, motore passo-passo serie LEPS

                                                          Attuatore elettrico tipo con cursore trasmissione a cinghia serie LEFB servomotore AC LECS□

                                                          Attuatori Attuatore lineare/elettrico, alta rigidità, trasmissione a vite a ricircolo di sfere Serie LEJS, LECS□

                                                          Attuatori lineari/elettrici con asta di guida e trasmissione a cinghia, serie LEL Motore passo-passo.

                                                          Motore passo-passo serie LEPY con attuatore elettrico ad asta in miniatura (Servo 24 V DC)

                                                          Attuatori lineari / elettrici, a stelo con guida, serie LEYG Motore passo-passo / servomotore

                                                          Attuatore elettrico ad asta guidata tipo LEYG Servomotore AC LECS□

                                                          Attuatori Lineari / Elettrici Attuatore, vite a sfera, specifiche pulite, serie 11-LEFS.

                                                          Attuatori lineari/elettrici Attuatore, vite a ricircolo di sfere, specifiche pulite, serie 11-LEFS, LECS□

                                                          Attuatori lineari/elettrici, alta rigidità, vite a ricircolo di sfere, serie 11-LEJS, LECS□.

                                                          LEFS , Trasmissione a vite a ricircolo di sfere

                                                          Unità di traslazione - LES

                                                          Scheda motore serie LAT3

                                                          Attuatore elettrico ad alta rigidità tipo con cursore specifica azionamento a vite senza motore Serie LEJS

                                                          Attuatore elettrico tipo con asta con specifica senza motore serie LEYG

                                                          Servomotore AC serie LEFS azionamento con vite a circolazione di sfere attuatore elettrico tipo a scorrimento LECS□

                                                          Servomotore AC serie LEFS azionamento con vite a circolazione di sfere attuatore elettrico tipo a scorrimento LECY□

                                                          Attuatore elettrico tipo con cursore trasmissione a cinghia serie LEFB servomotore AC LECY□

                                                          Attuatori Attuatore lineare/elettrico, alta rigidità, azionamento a vite a ricircolo di sfere, serie LEJS, LECY□

                                                          Servomotore AC serie LEJS azionamento con vite a circolazione di sfere attuatore elettrico a elevata rigidità tipo a scorrimento LECS□

                                                          Servomotore AC serie LEJS azionamento con vite a circolazione di sfere attuatore elettrico a elevata rigidità tipo a scorrimento LECY□

                                                          Attuatore elettrico tipo asta con guida Servomotore AC serie LEYG LECY□

                                                          CAD
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                                                          • 2D / 3D
                                                          • 2D / 3D
                                                          • 2D / 3D
                                                          • 2D / 3D
                                                          A partire da

                                                          988.33 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          1,149.43 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          475.09 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          1,319.73 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          679.23 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          695.53 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          924.41 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          1,094.31 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          598.76 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          1,209.41 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          2,562.24 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          520.43 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          493.87 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          760.19 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          1,213.06 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          918.92 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          1,348.27 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          2,538.34 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          968.29 €

                                                          Prezzo speciale

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          In Offerta

                                                          627.53 €

                                                          Prezzo speciale

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          In Offerta

                                                          522.24 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          1,932.06 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          766.57 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          1,432.34 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          1,513.19 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          1,995.80 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          2,740.10 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          2,232.19 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          2,392.26 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          1,570.63 €

                                                          *Prezzo unitario in configurazione base

                                                          Consegna da : 4 giorni 26 giorni 9 giorni 26 giorni 26 giorni 8 giorni 4 giorni 26 giorni 15 giorni 26 giorni 26 giorni 26 giorni 15 giorni 7 giorni 26 giorni 26 giorni 26 giorni 26 giorni Stesso giorno Stesso giorno 17 giorni 26 giorni 7 giorni 26 giorni 26 giorni 26 giorni 26 giorni 26 giorni 26 giorni 26 giorni
                                                          Main Body, Peripheral ComponentsCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principaleCorpo principale
                                                          TypeCursoriCursoriBarreCursoriCursoriCursoriCursoriCursoriCursoriCursoriCursoriCursoriBarreBarreBarreCursoriCursoriCursoriCursoriCursoriCursoriCursoriBarreCursoriCursoriCursoriCursoriCursoriCursoriBarre
                                                          Stroke(mm)1,000 ~ 9501,000 ~ 300030 ~ 8001,000 ~ 14001,000 ~ 170050 ~ 1501,000 ~ 9001,000 ~ 170025 ~ 501,000 ~ 30001,000 ~ 9001,000 ~ 90025 ~ 7530 ~ 30030 ~ 3001,000 ~ 8501,000 ~ 9001,000 ~ 8001,000 ~ 95030 ~ 15010 ~ 501,000 ~ 90030 ~ 3001,000 ~ 9501,000 ~ 9001,000 ~ 30001,000 ~ 9001,000 ~ 30001,000 ~ 300050 ~ 300
                                                          Max. Transportable Mass Range (Horizontal)(kg)2.1–5.0 / 5.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.0 / 50.1–100.02.1–5.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.010,1 - 20,0 / 20.1–50.0 / 50.1–100.0 / 150.1 o sup.5.1–10.0 / 10,1 - 20,05.1–10.0 / 10,1 - 20,00–2.0 / 2.1–5.0 / 5.1–10.0 / 10,1 - 20,00–2.0 / 2.1–5.0 / 5.1–10.0 / 10,1 - 20,05.1–10.0 / 10,1 - 20,00–2.02.1–5.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.010,1 - 20,0 / 20.1–50.0 / 50.1–100.02.1–5.00–2.0 / 2.1–5.0 / 5.1–10.02.1–5.0 / 5.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.0 / 50.1–100.010,1 - 20,0 / 20.1–50.0 / 50.1–100.05.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.0 / 50.1–100.010,1 - 20,0 / 20.1–50.0 / 50.1–100.020.1–50.0 / 50.1–100.05.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.0 / 50.1–100.00–2.0 / 2.1–5.00–2.010,1 - 20,0 / 20.1–50.0 / 50.1–100.010,1 - 20,0 / 20.1–50.0 / 50.1–100.05.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.0 / 50.1–100.05.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.0 / 50.1–100.02.1–5.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.010,1 - 20,0 / 20.1–50.0 / 50.1–100.05.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.05.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.010,1 - 20,0 / 20.1–50.0 / 50.1–100.0
                                                          Max. Transportable Mass (Horizontal)(kg)5 ~ 655 ~ 2518 ~ 20010 ~ 206 ~ 111 ~ 121 ~ 1910 ~ 200.75 ~ 25 ~ 2515 ~ 853 ~ 51 ~ 63 ~ 9018 ~ 609 ~ 6520 ~ 6030 ~ 8510 ~ 601 ~ 5115 ~ 8518 ~ 6010 ~ 6010 ~ 605 ~ 2515 ~ 8510 ~ 3010 ~ 3018 ~ 60
                                                          Max. Transportable Mass Range (Vertical)(kg)0–2.0 / 2.1–5.0 / 5.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.0-5.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.0 / 50.1–100.0 / 100.1 o sup.--0–2.0 / 2.1–5.0--0–2.0-2.1–5.0 / 5.1–10.0 / 10,1 - 20,0-0–2.00–2.0 / 2.1–5.0 / 5.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.0 / 50.1–100.05.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.00–2.0 / 2.1–5.0 / 5.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.05.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.02.1–5.0 / 5.1–10.0 / 10,1 - 20,02.1–5.0 / 5.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.00–2.0 / 2.1–5.00–2.02.1–5.0 / 5.1–10.0 / 10,1 - 20,05.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.02.1–5.0 / 5.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.02.1–5.0 / 5.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.0-2.1–5.0 / 5.1–10.0 / 10,1 - 20,0--5.1–10.0 / 10,1 - 20,0 / 20.1–50.0
                                                          Max. Transportable Mass (Vertical)(kg)0.5 ~ 23-8 ~ 115--0.25 ~ 4--0.25 ~ 1.5-3 ~ 20-0.25 ~ 1.51.5 ~ 517 ~ 442 ~ 238 ~ 305 ~ 204 ~ 300.25 ~ 50.05 ~ Non verticale3 ~ 207 ~ 444 ~ 304 ~ 30-3 ~ 20--7 ~ 44
                                                          Drive MethodViti a ricircolo di sfere rullateCinghieViti a ricircolo di sfere rullateCinghieCinghieViti a strisciamentoCinghieCinghieViti a ricircolo di sfere rullateCinghieViti a ricircolo di sfere rullateCinghieViti a strisciamentoViti a ricircolo di sfere rullateViti a ricircolo di sfere rullateViti a ricircolo di sfere rullateViti a ricircolo di sfere rullateViti a ricircolo di sfere rullateViti a ricircolo di sfere rullateViti a strisciamentoMotore lineareViti a ricircolo di sfere rullateViti a ricircolo di sfere rullateViti a ricircolo di sfere rullateViti a ricircolo di sfere rullateCinghieViti a ricircolo di sfere rullateCinghieCinghieViti a ricircolo di sfere rullate
                                                          GuideIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazioneIn dotazione
                                                          Lead(mm)5 ~ 3054 equivalente2.86 ~ 20Equivalente a 48Equivalente a 484 ~ 1648 ~ Equivalente a 48Equivalente a 484 ~ 1054 equivalente8 ~ 30Equivalente a 484 ~ 102.5 ~ 163 ~ 205 ~ 206 ~ 208 ~ 206 ~ 304 ~ 16-8 ~ 303 ~ 206 ~ 306 ~ 3054 equivalente8 ~ 3027 ~ 4227 ~ 424 ~ 12
                                                          Input Power Supply24 V DC--24 V DC24 V DC24 V DC24 V DC24 V DC24 V DC--24 V DC24 V DC24 V DC-24 V DC---24 V DC24 V DC---------
                                                          Position DetectionIncrementale--IncrementaleIncrementaleIncrementaleIncrementaleIncrementaleIncrementaleIncrementale / AssolutaIncrementale / AssolutaIncrementaleIncrementaleIncrementaleIncrementale / AssolutaIncrementaleIncrementale / AssolutaIncrementale / AssolutaIncrementaleIncrementaleIncrementale--Incrementale / AssolutaAssolutaAssolutaAssolutaIncrementale / AssolutaAssolutaAssoluta
                                                          I/O ModuleNPN / PNP / DeviceNet / Ethernet / Non in dotazione / EtherCAT / IO-Link / PROFINET--NPN / PNP / Ethernet / Non in dotazione / EtherCAT / PROFINETNPN / PNP / Ethernet / Non in dotazione / EtherCAT / PROFINETNPN / PNP / DeviceNet / Ethernet / Non in dotazione / EtherCAT / IO-Link / PROFINETNPN / PNP / DeviceNet / Ethernet / Non in dotazione / EtherCAT / IO-Link / PROFINETNPN / PNP / Ethernet / Non in dotazione / PROFINETNPN / PNP / Ethernet / Non in dotazione / EtherCAT / PROFINET--NPN / PNP / Ethernet / Non in dotazione / EtherCAT / PROFINETNPN / PNP / Ethernet / Non in dotazione / EtherCAT / PROFINETNPN / PNP / DeviceNet / Ethernet / Non in dotazione / EtherCAT / PROFINET-NPN / PNP / Ethernet / Non in dotazione / EtherCAT / PROFINET---NPN / PNP / DeviceNet / Ethernet / Non in dotazione / EtherCAT / IO-Link / PROFINETNPN / PNP / Non in dotazione---------
                                                          Table Width W1(mm)39,4 ~ 7450 ~ 74-50.4 ~ 124.76132 ~ 6139,4 ~ 6072.4 ~ 108.719 ~ 2450 ~ 74105 ~ 12956---39,4 ~ 7450 ~ 74105 ~ 12950 ~ 7432.2 ~ 6049105 ~ 129-50 ~ 7450 ~ 7450 ~ 74105 ~ 129105 ~ 129105 ~ 129-
                                                          BrakeNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazione / In dotazione
                                                          Max. Thrust Force Range(N)0–100 / 101–200 / 201–300 / 301–500 / 501 - 10000–100 / 101–200 / 201–300101–200 / 201–300 / 301–500 / 501 - 1000 / 1001 o sup.0–100 / 101–2000–100 / 101–2000–100 / 101–200-0–100 / 101–2000–1000–100 / 101–200 / 201–300101–200 / 201–300 / 301–500 / 501 - 10000–1000–1000–100 / 101–200 / 201–300 / 301–500 / 501 - 1000 / 1001 o sup.101–200 / 201–300 / 301–500 / 501 - 10000–100 / 101–200 / 201–300 / 301–500 / 501 - 1000101–200 / 301–500 / 501 - 1000201–300 / 301–500 / 501 - 10000–100 / 101–200 / 201–300 / 301–500 / 501 - 10000–100 / 101–2000–100101–200 / 201–300 / 301–500 / 501 - 1000101–200 / 201–300 / 301–500 / 501 - 10000–100 / 101–200 / 201–300 / 301–500 / 501 - 10000–100 / 101–200 / 201–300 / 301–500 / 501 - 10000–100 / 101–200 / 201–300101–200 / 201–300 / 301–500 / 501 - 10000–100 / 101–200 / 201–3000–100 / 101–200 / 201–300101–200 / 301–500 / 501 - 1000
                                                          Max. Thrust Force(N)49 ~ 63749 ~ 245131 ~ 334398 ~ 19658.8 ~ 107.87.5 ~ 180-98 ~ 19610 ~ 5049 ~ 245147 ~ 83329.4 ~ 4910 ~ 5030 ~ 1058131 ~ 73688.2 ~ 637196 ~ 588294 ~ 83398 ~ 5887.5 ~ 1802.5 ~ 6147 ~ 833131 ~ 73698 ~ 58898 ~ 58849 ~ 245147 ~ 83398 ~ 29498 ~ 294131 ~ 736
                                                          Noise FiltersNon in dotazione / In dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazioneNon in dotazione
                                                          Table Length L1(mm)72 ~ 170102 ~ 170-70 ~ 10078110.5 ~ 28572 ~ 12270 ~ 10076.4 ~ 113.2102 ~ 170160 ~ 17264 ~ 82---72 ~ 170102 ~ 170160 ~ 172102 ~ 17088.5 ~ 316.560 ~ 150160 ~ 172-102 ~ 170102 ~ 170102 ~ 170160 ~ 172160 ~ 172160 ~ 172-
                                                          Ambiente d'esercizioStandardStandardResistenza alla polvereStandardStandardStandard / Resistenza alla polvereStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandard / Resistenza alla polvereStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandard
                                                          Positioning Repeatability(µm)±15 ~ ±20±60±10 ~ ±20±80±80±50±80±80±50±60±10 ~ ±20±80±50±20±10 ~ ±20±15 ~ ±20±20±10 ~ ±20±10 ~ ±20±50±5 ~ ±90±10 ~ ±20±10 ~ ±20±10 ~ ±20±10 ~ ±20±60±10 ~ ±20±40±40±20
                                                          Maximum Velocity(mm/sec)1,000 ~ 110020001,000 ~ 90020001,000150 ~ 4001,500 ~ 20001,000150 ~ 35020001,200 ~ 18001,000 ~ 500150 ~ 35075 ~ 5001,000 ~ 900250 ~ 5001,000 ~ 9401,200 ~ 6001,000 ~ 940200 ~ 4004001,200 ~ 18001,000 ~ 9001,000 ~ 9401,000 ~ 94020001,200 ~ 18002000 ~ 30002000 ~ 30001,000 ~ 900

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